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wafer mount設(shè)備改造升級
發(fā)表日期：2019-05-23 12:37?? 文章編輯：admin ?? 瀏覽次數(shù)：
wafer mount設(shè)備改造升級，修改安川機器人及歐姆龍PLC程序，增加人工放晶圓歪斜導致停機后，防止回原點時機器人損壞晶圓的保護功能。
標簽：wafer mount,設(shè)備改造,安川機器人 ? ?
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